UHV Vakuumhandling
systamatec bietet ein durchdachtes, flexibles Vakuumachssystem, dass vor allem durch seine hohe Energiedichte, Dynamik und Bauraumoptimierung besticht. Mit der Fokussierung auf das Ganze wird eine leistungsfähige Symbiose aus neuesten technischen Entwicklungen für Antriebe, Steuerung und Material in Verbindung mit einer durchdachten Konstruktion angeboten.
Vorteile
- hohe Energiedichte
- hohe Dynamik und Präzision
- geringer Bauraum
- sehr gute Energieeffizienz
- hohe Dynamik und Präzision
- Trennung von Prozessraum und Aktorik
- adaptierbar für Verfahrweg, Lastaufnahme und Achsanordnung
- flexible Werkzeuganbindung und Bewegung
- Serviceoptimiert
- Lebensdaueroptimiert
Antriebe
Einsatz von Schrittmotoren in Hochvakuumausführung bei individueller Adaptierung auf Einsatz hinsichtlich Leistung, Wärmemanagement , Ansteuerung und Mechanik
Steuerung
Einsatz eines optischen Wegmesssystems für Hochvakuumanwendungen und damit Sicherung einer hohen Genauigkeit bei gleichzeitiger dynamischer Performance.
Service
Jede Achse ist autark aufgebaut und das Gesamtsystem unter der Verwendung spez. UHV Steckverbindungen schnell und einfach in die Einzelachsen demontierbar.
| Auswahl Steigung | Genauigkeit | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Motor | Beschleunigung | 10 mm | 3 mm | opt. Wegmessystem | ||
| Typ | a max | F max | F max | V Abweichung | F vorspannung | Vakuum Tonic |
| Durchmesser | [mm/s²] | [N] | [N] | [%/mm] | [N] | [±μm/300mm] |
| 120 mm | 1500 | 5100 | 16830 | 0,0004 | 1250 | 1,5 |
| 100 mm | 1500 | 2800 | 9240 | 0,0004 | 1250 | 1,5 |
| 80 mm | 1500 | 1150 | 3795 | 0,0004 | 460 | 1,5 |
| 60 mm | 1000 | 430 | 1419 | 0,0004 | 310 | 1,5 |
| 45 mm | 500 | 110 | 363 | 0,0004 | 310 | 1,5 |
| Schrittlänge | V max | V max | ||||
| [μm/Step] | [mm/s] | [mm/s] | ||||
| 0,19 | 110 | 30 |